ナノマテリアルと分子ナノテクノロジーのジャーナル

ナノ秒レーザー処理によるバナジウム薄膜の歪み

コツェディ L、カビヤラス K、フク XG、ソネ BT、マーザ M

ナノ秒レーザー処理によるバナジウム薄膜の歪み

真空コーティング技術を使用して、ガラス基板上にバナジウムの薄いコーティングを成長させました。圧電厚さモニターを使用して、堆積したコーティングの厚さをその場で測定しました。次に、バナジウム層を周囲条件でナノ秒パルスファイバーレーザー源で処理したところ、レーザーからの熱放散により表面に亀裂が生じました。亀裂の密度は、レーザーフルエンスに正比例して増加することが観察されました。高解像度走査型電子顕微鏡で観察されたように、亀裂の密度の増加は、バナジウム層の表面改質を伴っていました。レーザーフルエンスが高くなると、レーザーの表面にピンホールが形成されますが、これは、これらの実験条件で発生するレーザーパンチングによるものです。